光栅位移传感器,光栅位移传感器的特点
光栅位移传感器,作为光电传感器领域的一项重要技术,以其高精度和大量程测量的特点,广泛应用于程控、数控机床和三坐标测量机构中。小编将深入探讨光栅位移传感器的特点及其应用。
1.量程大与精度高
光栅位移传感器的显著优点在于其量程大和精度高。这种传感器在大量程测量长度或直线位移方面,其精度仅略低于激光干涉传感器。在圆分度和角位移连续测量方面,光栅式传感器被认为是精度最高的。
2.结构简单与易于实现自动化
光栅传感器实际上是光电传感器的一个特殊应用。其结构简单,主要由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅固定在活动部件上,如机床的工作台或丝杆上,而光栅读数头则安装在固定部件上,如机床的底座上。这种设计使得光栅测量易于实现自动化和数字化。
3.光电扫描原理与掩膜刻线
直线光栅尺采用光电扫描原理,刻蚀着相同刻线的掩膜和光栅发生相对运动。当掩膜与光栅对齐时,平行光顺利到达光电传感器;当掩膜刻线正好挡住光栅的开档时,平行光不能通过,此时光电传感器没有信号输出。这种原理使得光栅尺能够实现高精度的直线位移测量。
4.光纤光栅传感器的优势
光纤光栅传感器具有远距离传输能力,光纤的传输距离可以达到几公里甚至更远,适用于大范围的监测。光纤光栅传感器具有高灵敏度和高分辨率,可以实现高精度的测量。
5.光栅传感器的组成与工作原理
光栅传感器由直尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统四部分组成。当标尺光栅相对于指示光栅移动时,会形成大致呈正弦曲线分布的明暗莫尔条纹。这些条纹以光栅的相对速度移动并直接反映测量结果。
6.与其他位移传感器的比较
与LVDT传感器相比,光栅传感器的主要优势在于其高精度和大量程测量能力。LVDT传感器虽然坚固耐用,理论上无限寿命,但由于其依赖于磁通量的耦合,分辨率有限。
7.应用领域广泛
光栅位移传感器在机械振动测量、变形测量等领域也有广泛应用。其高精度和稳定性使其成为许多精密测量场合的首选。
通过实验测试,光栅位移传感器的测精度可优于±5μm。目前,利用光栅传感器进行长度、角度自动测量的智能仪表已形成系列产品,分辨率可从20μm到1μm不等,为各种测量场合提供了强大的支持。
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